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松井 優耶 and 原田 昌樹 and 山口 明啓 and 奥田 孝一 and 内海 裕一 and 笠井 一夫 and 浜口 和也 and 才木 常正,J2240102 弾性表面波を用いた粉体フィーダーの提案([J224-01]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 ナノ構造加工・プロセス),年次大会,2424-2667,一般社団法人 日本機械学会,2014,2014,0,_J2240102-,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205844843008,https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2014._j2240102-