著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小篠 諒太 and 天谷 賢児 and 細矢 侑平 and 檜山 浩國 and 福永 明 and 濱田 聡美,OS0111 半導体ウェーハの回転洗浄における流れの挙動,日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集,2424-2691,一般社団法人 日本機械学会,2016,2016.22,0,_OS0111-1_,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205848355584,https://doi.org/10.1299/jsmekanto.2016.22._os0111-1_