著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 森川 敬之 and 向笠 忍 and 豊田 洋通 and 野村 信福,1316 プラズマCVD法を用いたDLC薄膜生成に関する研究(熱工学III),中国四国支部総会・講演会 講演論文集,2424-2764,一般社団法人 日本機械学会,2012,2012.50,0,131601-131602,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205860485120,https://doi.org/10.1299/jsmecs.2012.50.131601