著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
本橋 健次 and 鶴淵 誠二,"27aB08 多価イオンビームによるワイドギャップ半導体のスパッタリング過程(窒化物(3),第34回結晶成長国内会議)",日本結晶成長学会誌,0385-6275,日本結晶成長学会,2004,31,3,268,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205898203264,https://doi.org/10.19009/jjacg.31.3_268