著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中野 禅 and 芦田 極 and 朴 載赫 and 明渡 純,1201 オンデマンド型MEMS製造システムの開発(OS1-2 生産システムの運用),生産システム部門講演会講演論文集,2424-3108,一般社団法人 日本機械学会,2007,2007,0,21-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205899654656,https://doi.org/10.1299/jsmemsd.2007.21