著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
藤田 寛治 and Cicman P. and 大津 康徳,17pRA-5 高周波誘導結合型プラズマ中の高周波電位形成と電子二次元速度分布関数,日本物理学会講演概要集,2189-0803,一般社団法人 日本物理学会,2001,56.2.2,0,128,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206040793472,https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.56.2.2.0_128_1