著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
服部 毅,最先端半導体表面洗浄の課題と展望,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2018,61,2,56-63,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206125317248,https://doi.org/10.1380/vss.61.56