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永山 勝也 and 木村 景一 and 森下 浩文 and 田中 和博,ＣＭＰにおけるウエハとパッドすきま内スラリー流れの数値解析（溝なし，同心円溝，放射状溝での比較）,日本機械学会論文集Ｂ編,0387-5016,一般社団法人 日本機械学会,2007,73,733,1806-1812,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206263280768,https://doi.org/10.1299/kikaib.73.1806