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坂本 秀一 and 一宮 亮一,管内空気柱の音響波数変化を利用した変位の精密測定 電気音響式非接触変位センサ,日本機械学会論文集Ｃ編,03875024,一般社団法人 日本機械学会,1992,58,555,3259-3264,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206294601216,https://doi.org/10.1299/kikaic.58.3259