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進士 忠彦 and 松本 淳 and 佐藤 海二 and 下河辺 明,永久磁石反発型直動案内 テーブルの静剛性と２自由度の制御による浮上安定化,日本機械学会論文集Ｃ編,03875024,一般社団法人 日本機械学会,2001,67,653,232-239,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206328060544,https://doi.org/10.1299/kikaic.67.232