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佐竹 うらら and 榎本 俊之 and 三宅 貴大 and 田畑 憲一,高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発（二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上）,日本機械学会論文集Ｃ編,0387-5024,一般社団法人 日本機械学会,2012,78,786,669-676,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206387548032,https://doi.org/10.1299/kikaic.78.669