著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
勝沼 隆幸 and 久松 亨 and 木原 嘉英 and 本田 昌伸,原子層堆積装置およびエッチング装置を組み合わせた極微細パターンニング形成,表面科学,03885321,公益社団法人 日本表面科学会,2017,38,5,210-215,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206459387648,https://doi.org/10.1380/jsssj.38.210