著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 越後谷 淳一 and 瀬川 章夫 and 山崎 詩帆 and 早坂 祐一郎,スパッタ法により作製した酸化インジウム酸化亜鉛膜の周期的層状構造,日本金属学会誌,00214876,公益社団法人 日本金属学会,2014,78,2,82-89,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206482796416,https://doi.org/10.2320/jinstmet.j2013051