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斎藤 秀俊 and 佐藤 淳 and 石黒 孝 and 鎌田 喜一郎 and －ノ瀬 幸雄,プラズマCVD法による硬質アモルファス窒化ホウ素膜の作製,日本金属学会誌,00214876,公益社団法人 日本金属学会,1996,60,5,476-481,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206489660160,https://doi.org/10.2320/jinstmet1952.60.5_476