著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松田 洋一 and 中野 英俊 and 永井 聰 and 山中 一司,レーザー超音波による精密音速測定と半導体プロセスの温度計測への応用,非破壊検査,03675866,一般社団法人 日本非破壊検査協会,2008,57,4,204-209,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206493556480,https://doi.org/10.11396/jjsndi.57.204