著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
杉山 進,マイクロマシン 実用化とナノ領域への展開 マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー ファンダリー・ネットワーク構築に向けて,計測と制御,0453-4662,公益社団法人 計測自動制御学会,2003,42,1,12-17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206516734336,https://doi.org/10.11499/sicejl1962.42.12