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高塚 威 and 永坂 茂之 and 宮本 明 and 久保 百司 and 遠藤 明 and 古山 通久 and 神戸 正純 and 三浦 邦夫,低湿度雰囲気における液晶表示装置向け高温ポリシリコン用ガラス表面への水分吸着量,空気調和・衛生工学会 論文集,0385275X,公益社団法人 空気調和・衛生工学会,2007,32,121,25-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001206546150912,https://doi.org/10.18948/shase.32.121_25