著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 吉冨 健一郎 and 宇根 篤暢,すきま理論による両面研磨シミュレーション(第1報),精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2019-03-01,2019S,0,130-131,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001277346181504,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019s.0_130