著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 工藤 日向子 and 夏 恒 and 野田 大輔,電解複合ワイヤーソーによるSiC切断の有効性検証,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2019-03-01,2019S,0,271-272,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001277346205952,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019s.0_271