著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 福谷 克之,真空を作る,測る,応用物理,03698009,公益社団法人 応用物理学会,2009-10-10,78,10,991-995,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001277358936960,https://doi.org/10.11470/oubutsu.78.10_991