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内田 雅人 and 石田 秀一 and 田原 竜夫 and 宮本 弘之,薄型AEセンサとオートエンコーダの再構成誤差を用いた 回転式真空ポンプの異常検知,計測自動制御学会論文集,04534654,公益社団法人 計測自動制御学会,2018,54,7,599-605,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001288044204288,https://doi.org/10.9746/sicetr.54.599