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高橋 宗大 and 加藤 孝宜 and 小川 博紀 and 渡部 成夫 and 三枝 高志 and 高木 豊和,コンパクト構造磁気浮上ナノ位置決めステージの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2018-08-20,2018A,0,447-448,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001288125302016,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018a.0_447