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西川 達也 and 安部 徳仁 and 米須 章 and 林 信哉,ECRプラズマを用いた表面滅菌,電気関係学会九州支部連合大会講演論文集,,電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会,2017-09-19,2017,0,241-241,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001288150762240,https://doi.org/10.11527/jceeek.2017.0_241