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奥津 加奈 and 鬼束 さおり and 清 文博 and 河野 慶彦 and 野口 大輔,高速低温スパッタ法によるTiO2光触媒薄膜の成膜技術開発と薄膜成長モデル解明に関する研究,都城工業高等専門学校研究報告,0286116X,独立行政法人 国立高等専門学校機構 都城工業高等専門学校,2011,45,0,19-29,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390002184890313216,https://doi.org/10.24461/miyako.45.0_19