著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
久保田 章亀,オゾン/紫外光援用ウエット研磨法の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2020-03-01,2020S,0,142-142,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390004222624839296,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020s.0_142