著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮島 晋介 and 白取 優大,対向ターゲットスパッタ法による高品質な太陽電池用アモルファスシリコン表面パッシベーション膜の開発,応用物理,03698009,公益社団法人 応用物理学会,2020-12-10,89,12,707-710,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390005506381548416,https://doi.org/10.11470/oubutsu.89.12_707