著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 巴山 顕真 and チェノル シャヒラ ビンティ チェ ズルキフリ and 村田 順二,高分子電解質を用いたワイドギャップ半導体の高能率電解複合研磨,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2021-03-03,2021S,0,309-310,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390007779708019968,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021s.0_309