著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
高橋 隆一 and 池田 長康 and 直江 正彦,Improvement of Toroidal Plasma (TP) Type Sputtering for Depositing Co-Cr Films on Plasma-Free Substrates,富山大学工学部紀要,03871339,富山大学工学部,1991-03,42,,37-42,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390009224807013376,https://doi.org/10.15099/00004421