著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮地 計二 and 清家 善之 and 土肥 俊郎,高圧マイクロジェットを用いたCMPパッドコンディショニング技術,"埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama University",1347-4758,埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門,2007,7,,14-19,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390009224813818112,https://doi.org/10.24561/00016782