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荻田 陽一郎 and 願念 雄一郎 and Ogita Yoh-ichiro and Gannen Yu-ichiro,UV/ミリ波PCD法における最大感度条件とSiエピタキシャルウェーハおよび極表面層評価,"神奈川工科大学研究報告.B,理工学編",09161902,神奈川工科大学,2001-03-20,25,,29-33,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390009224860315008,https://doi.org/10.34411/00000900