著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
崔 泰樹 and 山内 和人 and 佐野 泰久,PCVMを用いた水素による酸化ガリウムの表面加工,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2021-09-08,2021A,0,463-463,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010292568994048,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021a.0_463