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小林 篤 and 上野 耕平 and 藤岡 洋,スパッタ法によるAlN上へのNbN極薄膜エピタキシャル成長,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-02-28,2020.1,0,3086-3086,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010765190803584,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_3086