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藤原 悠希 and 田原 大祐 and 西中 浩之 and 吉本 昌広 and 野田 実,ミスト CVD 法による HfxZr1-xO2薄膜の作製とその電気的特性,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-02-28,2020.1,0,1235-1235,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010765206242816,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1235