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村瀬 幹生 and 吉村 武 and 藤村 紀文,スパッタ法におけるPZT薄膜の成長機構の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-02-28,2020.1,0,1242-1242,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010765206244224,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1242