Product design of silicon wafer for advanced CMOS image sensors-Control of SiO<sub>2</sub>/Si interface states by hydrocarbon molecular ion implantation-

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  • 高感度CMOSイメージセンサ向けシリコンウェーハの製品設計 -炭化水素分子イオン注入によるSiO<sub>2</sub>/Si界面準位の制御-

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