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會田 英雄 and 武田 秀俊 and 宮下 忠一 and 鍛治倉 惇 and 土肥 俊郎,難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術,精密工学会誌,09120289,公益社団法人 精密工学会,2022-06-05,88,6,435-439,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010842618266240,https://doi.org/10.2493/jjspe.88.435