著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
BAE Hansin and 疋田 和也 and 鈴木 陽香 and 笹井 建典 and 豊田 浩孝,表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,1472-1472,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010997572430720,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1472