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森田 雅也 and 石橋 啓二 and 高橋 健一郎 and 知京 豊裕 and 小椋 厚志 and 長田 貴弘,GaNテンプレート基板のためのSi基板上無極性面AlN結晶成長の作製条件の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,2611-2611,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010997572712448,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2611