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渡邉 泰章 and 鈴木 駿 and 石井 晃一 and 小田 昭紀 and 太田 貴之 and 上坂 裕之,Si 含有DLC 成膜用テトラメチルシランプラズマ特性へ及ぼす投入電力の影響の計測,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,1441-1441,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010997580605568,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1441