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竹内 聡 and 大堀 大介 and 石田 昌久 and 曽田 匡洋 and 遠藤 和彦 and 寒川 誠二,バイオテンプレート極限加工により作製されたシリコンナノピラー構造における表面濡れ性の制御,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,2241-2241,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010997580791424,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2241