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尾内 惇平 and 藤沢 浩訓 and 中嶋 誠二,"透明酸化物電極上への(Hf,Zr)O<sub>2</sub>薄膜の作製",応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,1169-1169,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010997596388864,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1169