著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
吉崎 教裕,「新常態」半導体産業を支える安全・サポート,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,14-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390010997596424192,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_14