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佐保 勇樹 and 鎌田 大輝 and 高田 賢志 and 桐谷 乃輔 and 吉村 武 and 芦田 淳 and 藤村 紀文,酸素分圧変化によるHfO<sub>2</sub>:Y/Si薄膜の配向と結晶構造の制御,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2019-09-04,2019.2,0,1368-1368,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390011340284162560,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1368