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神山 栄治 and 末岡 浩治,シリコン結晶中における酸素固溶度を決定するメカニズムの考察,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2019-09-04,2019.2,0,3683-3683,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390011340292438784,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3683