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佐々木 友也 and 橋本 洋平 and 古本 達明 and 山口 貢 and 江面 篤志 and 小谷野 智広 and 阿部 諭 and 細川 晃,両面研磨加工における加工物－上定盤間の研磨液挙動の検討,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2022-03-02,2022S,0,124-125,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390011804535820928,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022s.0_124