著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 上田 敏弘 and 吉田 和弘 and 金 俊完,流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプに関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2022-03-02,2022S,0,695-696,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390011804536009216,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022s.0_695