著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
馬場 真人 and 岡田 浩 and 古川 雅一 and 山根 啓輔 and 関口 寛人 and 若原 昭浩,窒化物半導体デバイスに向けた表面波プラズマ励起化学気相堆積法によるシリコン系絶縁膜の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,3011-3011,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390011959361650048,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3011