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田中 襲一 and 岡田 俊祐 and 林 侑介 and 三宅 秀人 and 平松 和政,MOVPE法によるAlN膜のface-to-faceアニール,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2017-08-25,2017.2,0,3412-3412,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390012468133789056,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3412