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馬場 真人 and 近藤 佑隆 and 岡田 浩 and 古川 雅一 and 山根 啓輔 and 関口 寛人 and 若原 昭浩,表面波プラズマ励起化学気相堆積法によるシリコン酸化膜の堆積と評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2017-03-01,2017.1,0,3150-3150,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390012711638170880,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3150