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上野 耕平 and 荒川 靖章 and 今別府 秀行 and 小林 篤 and 太田 実雄 and 藤岡 洋,PSD法によるGaNへのn型ドーピング技術の開発,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2016-09-01,2016.2,0,3113-3113,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390013706728704896,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3113